寶德BURKERT式流量傳感器特性概覽

工作電源
輸出信號 標準脈沖信號，晶體管NPN或PNP，集電極開路，
zui大100mA
本體材質 PA（8023的本體）
8030與8021
允許的傳感器 霍爾式 / 霍爾“低功率"式
流量顯示包括2個累加器
體式、面板式或墻裝式
批量控制器具有3種批量模式（現場按鍵輸入、
二進制輸入和時間比例觸發批量控制）
zui大誤差以測量范圍的%表示：
標準K系數校正：≤±(0.5% o.F.S. +2.5% o.R.)
校正（Teach-in）：≤±0.5% o.F.S.
霍爾式（參見技術參數表） 1
2 to 30 V DC DIN 43650 M16×1.5
8021型標準脈沖輸出模塊，接插式 12 to 30 V DC 1 x M16×1.5
測量范圍 From 1 l/min
流速 0.3 to 10 m/s
測量誤差[%] ≤ ±(0.5% o.F.S. +2.5% o.R.) 這兩個電阻都直接位于氣體通道內；另外三個電阻位于氣體通道之外。
這五個電阻連接成個測量電橋。
氣體通道中的個電阻 (RT) 測量介質溫度，另個低阻值電阻 (RS) 不斷被加熱，使其與介質溫度（由 RT 測得）之間始終保持個恒定的溫差。
所需的加熱電流即用于測量流過該氣體通道的氣體流量。
MFC 中合適的流量調節確保其所測得的流量非常。
由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內，所以當設定值或實際值變化時，該傳感器的響應時間極短，只有幾百毫秒。
此外，該傳感器的結構確保其不易受污染物的影響。
與在主管道中進行測量的式傳感器不同，CMOS 傳感器是在旁路管道中進行測量的。
主管道中的層流元件產生個必需的壓差，使小部分流量進入旁路管道。
旁路管道內壁上裝有帶膜的硅芯片，用于測量流量。
采用 CMOS 傳感器技術，在這塊膜上有個加熱電阻和兩個對稱的溫度傳感器（分別位于上游和下游）。
如使加熱電阻保持在個恒定溫度，則兩個溫度傳感器的電壓差即可用于測量旁路通道內流過芯片的氣體的流量。
該溫度傳感器的熱量低、與介質直接接觸，因此具有許多特定的，其中之就是對于流量變化的響應極快。
帶 CMOS 傳感器的 MFC 具有100 ms 的響應時間，且靈敏度高，即使流量很小時也是如此。
該式傳感器為 CTA（恒溫風速計） 工作原理：控制加熱電阻 (RS) 和測量電阻 (RT) 之間保持個恒定的溫差。

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